Laminated piezoelectric element and process for producing the same

적층형 압전 소자 및 그 제조방법

Abstract

본 발명의 적층형 압전 소자는 내부전극층(21,22)과 압전 세라믹스층(11)이 교대로 적층되어 이루어지는 소체(10)를 가지는 적층형 압전 소자로서, 내부전극층(21,22)은 Cu를 주성분으로 하는 동시에, 상기 압전 세라믹스층이 Pb(Ti,Zr)O 3 으로 표현되는 복합 산화물을 주성분으로 하고, 5가 및 6가 중 적어도 어느 한쪽의 금속원소인 Nb, Sb, Ta 또는 W를 함유한 금속 산화물(Nb 2 0 5 , Sb 2 0 5 , Ta 2 0 5 또는 W0 3 )이 내부전극층(2l,22)으로부터 이간됨에 따라 농도가 낮아지도록 압전 세라믹스층(11)에 함유되어 있다. 이것에 의해 내부전극이 Cu를 주성분으로 하는 경우에도 충분한 압전 상수를 얻으면서, 저온 소성이 가능한 적층형 압전 소자를 실현한다. 압전 소자, 내부전극층, 압전 세라믹스층, 복합 산화물, 금속 산화물
A laminated piezoelectric element having basis body (10) composed of, alternately superimposed one upon another, internal electrode layers (21,22) and piezoelectric ceramic layers (11), wherein while the internal electrode layers (21,22) are composed mainly of Cu, the piezoelectric ceramic layers (11) are composed mainly of a composite oxide represented by the formula Pb(Ti,Zr)O3, and wherein a metal oxide containing Nb, Sb, Ta or W being a metal element of at least either valence 5 or valence 6 (Nb2O5, Sb2O5, Ta2O5 or WO3) is contained in the piezoelectric ceramic layers (11) so that the concentration thereof is decreased as the distance from the internal electrode layers (21,22) is increased. Thus, there can be realized a laminated piezoelectric element that even when the internal electrode is composed mainly of Cu, permits low-temperature firing while ensuring satisfactory piezoelectric constant.

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    KR-101454341-B1October 27, 2014한국교통대학교산학협력단Pzt계 압전 세라믹 및 그 제조 방법